半导体IC封测领域中,在晶圆片未切割成单一颗晶粒前,都需要进行在晶圆片阶段的电性点测,而探针卡搭配各式规格的探针便提供此一功能。
探针是探针卡里重要的核心部件,透过探针与晶圆片上晶粒的电极接触进行电性连接,来达到电性测试检验。
探针规格 | |
探针材料 | P7, H3C, Pd Alloy |
针径 | 50 ~ 250 um |
针长 | 50 ~ 102 mm |
针尖形式 | 平头 |
针尖直径 | 6 ~ 10 um |
表面 | 半粗雾面 |
探针规格 | |
探针材料 | Ni-W , Ni-ReW |
针径 | 60 ~ 500 um |
针长 | 38 ~ 102 mm (1.5”/2.0”/2.5”/3.0”/3.5”/4.0”) |
针尖形式 | 尖顶, 平头 |
表面 | 半粗雾面, 抛光 |
specifications | |
探针材料 | Ni-W, Ni-ReW, P7 |
镀层厚度 | 2 ~ 5 um |
镀层材料 | Polyimide |